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晶圓玻璃測(cè)量設(shè)備方案返回

描述:設(shè)備主要測(cè)量玻璃及晶圓厚度;采用同軸共焦激光測(cè)量產(chǎn)品厚度,取5點(diǎn)測(cè)量,每片激光采點(diǎn)位置可以有偏差;雙工位,六套同軸光同時(shí)進(jìn)行測(cè)量,效率更高。

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產(chǎn)品詳情

技術(shù)參數(shù)

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主要特點(diǎn)

1.一體式工作機(jī),穩(wěn)重大氣,安全性高、可靠性強(qiáng),自帶顯示面屏,占地空間小,方便應(yīng)用于車間各場(chǎng)合;

2.全濟(jì)南青材質(zhì)底座、立柱及工作臺(tái),固定橋式結(jié)構(gòu),所有緊固件螺母為“T”型結(jié)構(gòu),承載力大、穩(wěn)定性好,結(jié)構(gòu)剛性強(qiáng);

3.通過(guò)3組同軸共焦激光取5點(diǎn)測(cè)量圓皮帶上輸送的透明玻璃厚度,設(shè)備再線性精度保持在3um以內(nèi)

4.采用磁力輪傳送動(dòng)力,磁力輪優(yōu)點(diǎn)為無(wú)接觸傳送動(dòng)力、無(wú)摩擦、無(wú)噪音、不產(chǎn)生粉塵、傳動(dòng)能力強(qiáng)等;

5.多種輸出格式選擇,DXF. WORD. EXCEL等;

6.兩個(gè)工位,六套同軸共焦點(diǎn)激光,工作效率大大提高。


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適用范圍

設(shè)備主要測(cè)量玻璃及晶圓厚度;采用同軸共焦激光測(cè)量產(chǎn)品厚度,取5點(diǎn)測(cè)量,每片激光采點(diǎn)位置可以有偏差;雙工位,六套同軸光同時(shí)進(jìn)行測(cè)量,效率更高。



激光測(cè)量機(jī)構(gòu)說(shuō)明

1.左邊3組右邊3組共6組同軸共焦點(diǎn)激光,切換產(chǎn)品時(shí)可通過(guò)手動(dòng)調(diào)節(jié)激光滑塊間距和激光高度來(lái)達(dá)到激光采點(diǎn)要求;

2.采用產(chǎn)品不動(dòng)激光移動(dòng)的測(cè)量方式測(cè)量;

3.采用一組絲桿+伺服電機(jī)在中間位置驅(qū)動(dòng)兩條線的激光位移采點(diǎn),優(yōu)點(diǎn)是機(jī)構(gòu)簡(jiǎn)潔,電控信號(hào)同步;

4.采用精密滾珠絲桿、精密滑軌和精密手動(dòng)滑臺(tái)保持了激光位移采點(diǎn)重復(fù)性精度;

5.有限位機(jī)構(gòu)和限位感應(yīng)開(kāi)關(guān)對(duì)絲桿移載限位避免了調(diào)試中出現(xiàn)的飛車;


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