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晶圓玻璃測量設備方案返回

描述:設備主要測量玻璃及晶圓厚度;采用同軸共焦激光測量產品厚度,取5點測量,每片激光采點位置可以有偏差;雙工位,六套同軸光同時進行測量,效率更高。

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產品詳情

技術參數

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主要特點

1.一體式工作機,穩(wěn)重大氣,安全性高、可靠性強,自帶顯示面屏,占地空間小,方便應用于車間各場合;

2.全濟南青材質底座、立柱及工作臺,固定橋式結構,所有緊固件螺母為“T”型結構,承載力大、穩(wěn)定性好,結構剛性強;

3.通過3組同軸共焦激光取5點測量圓皮帶上輸送的透明玻璃厚度,設備再線性精度保持在3um以內

4.采用磁力輪傳送動力,磁力輪優(yōu)點為無接觸傳送動力、無摩擦、無噪音、不產生粉塵、傳動能力強等;

5.多種輸出格式選擇,DXF. WORD. EXCEL等;

6.兩個工位,六套同軸共焦點激光,工作效率大大提高。


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適用范圍

設備主要測量玻璃及晶圓厚度;采用同軸共焦激光測量產品厚度,取5點測量,每片激光采點位置可以有偏差;雙工位,六套同軸光同時進行測量,效率更高。



激光測量機構說明

1.左邊3組右邊3組共6組同軸共焦點激光,切換產品時可通過手動調節(jié)激光滑塊間距和激光高度來達到激光采點要求;

2.采用產品不動激光移動的測量方式測量;

3.采用一組絲桿+伺服電機在中間位置驅動兩條線的激光位移采點,優(yōu)點是機構簡潔,電控信號同步;

4.采用精密滾珠絲桿、精密滑軌和精密手動滑臺保持了激光位移采點重復性精度;

5.有限位機構和限位感應開關對絲桿移載限位避免了調試中出現的飛車;


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